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MEMS探针卡
探针卡是晶圆测试环节的核心电性互联载体，可实现测试机与被测芯片间的精准信号传输，通过稳定的通路连接完成芯片电性能参数的高效测试，是保障晶圆良率与性能验证的关键部件。
